Поиск

Полнотекстовый поиск:
Где искать:
везде
только в названии
только в тексте
Выводить:
описание
слова в тексте
только заголовок

Рекомендуем ознакомиться

'Документ'
Во исполнение приказа Министерства образования и науки, молодежи и спорта Автономной Республики Крым от 22.10.2013г. № 1155 « О проведении Крымского р...полностью>>
'Документ'
Широкое распространение курительные смеси получили в начале 2 годов, когда преимущественно в Соединенных Штатах Америки и в странах Европы, в частност...полностью>>
'Документ'
Айкидо учит простому секрету - чтобы улучшить жизнь надо улучшить себя. Айкидо не дает никаких иллюзий, имеет значение только Ваше существование и Ваш...полностью>>
'Документ'
Мониторинг (централизованное наблюдение) состояния установленных на объекте юридического лица или индивидуального предпринимателя средств охранной или...полностью>>

Главная > Документ

Сохрани ссылку в одной из сетей:
Информация о документе
Дата добавления:
Размер:
Доступные форматы для скачивания:

О.С. Коленцова, И.С. Васильевский, И.С. ЕРЕМИН,

А.С. СИМАКОВ

Национальный исследовательский ядерный университет «МИФИ»

Определение зависимости разрешения от параметров проявления и травления электронного резиста PMMA.

Исследованы параметры проявления позитивного однослойного резиста РММА 950К А2: температура, время проявления резиста и зависимость размера топологии от данных параметров. Температурный диапазон от 20 до 40 градусов С. Временной диапазон от 20 до 180 секунд. Исследовано уширение линий, полученных в SiO2 с использованием PMMA резиста как резистивной маски при плазменном травлении Ar. Данная работа выполнялась для определения параметров технологии паттернирования поверхности для улучшения внешней работы выхода светодиода. Рассмотрено влияние указанных выше параметров на вид полученного в резисте профиля.



Похожие документы:

  1. Книги: Англо-русский и русско-английский словарь пк

    Документ
    ... (от заданных параметров) depend зависеть; depends on password определяется паролем dependence 1. зависимость; 2. ... (в электронных таблицах) anchor cell опорный anchor; support, supporting определение definition; declaration; повторное определение ...

Другие похожие документы..